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廢氣不能隨意排放到空氣中，尤其是VOC超標的廢氣，目前降低VOC的方法有：活性炭吸附法，水噴淋法，活性炭吸附法，甚至分子篩法等，有機廢氣一般都存在著易燃易爆、有毒有害等多種不利因素，并且大部分的有機廢氣都不溶于水以及有機溶劑中。
ITO是直接焚燒法是目前引用較為廣泛的方法。rto廢氣處理原理是在高溫下將可燃廢氣氧化成對應的氧化物和水，從而凈化廢氣，并回收廢氣分解時所釋放出來的熱量，廢氣分解效率打到99%以上，熱回收效率達到95%以上。
借助燃氣或燃油等輔佐燃料焚燒廢氣，回收利用反應釋放的大量熱能，將混合廢氣加熱到反應溫度，一般在700—800℃，在焚燒爐充分燃燒，焚燒廢氣中的可燃有害氣體。該工藝的處理原理簡單、設備建設成本較少，適用于處理高濃度小風量的噴漆廢氣，但是處理耗能較大、運行成本也比較高。
VOC氣體既有揮發性，也有可燃性，因此需要檢測其可燃性和VOC濃度，用于保證其安全。
一般采用德爾格氣體檢測儀，德爾格紅外可燃檢測儀，具有反應快，反應時間僅需1秒，檢測準確等優點。
采樣系統根據客戶的實際情況，進行定制。
客戶需提供以下信息：
氣體的組成成分。
管道溫度
管道濕度
管道壓力
管道粉塵
是否提供儀表風功能。
以及客戶環境。
原理是將有機廢水霧化、廢氣噴入焚燒爐，通人供給氧氣(空氣)和助燃燃料后點火燃燒，完成廢棄物的氧化熱解處理。在多晶硅廢氣、廢液處理中，采用高溫焚燒將廢氣、廢液轉化為HCl、SiO2、CO2及水蒸汽等產物，再通過對焚燒產物的深度處理和物料收集，實現無害化、資源化處理。
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